เตาสูญญากาศ นั่นคือ ในพื้นที่เฉพาะของห้องเตา จะใช้ระบบสูญญากาศ (ประกอบอย่างระมัดระวังโดยปั๊มสูญญากาศ อุปกรณ์วัดสูญญากาศ วาล์วสูญญากาศ และส่วนประกอบอื่นๆ) เพื่อระบายส่วนหนึ่งของสารในห้องเตา เพื่อให้ความดันในห้องเตาน้อยกว่าความดันบรรยากาศมาตรฐาน และใช้พื้นที่ในห้องเตาเพื่อให้บรรลุสถานะสูญญากาศ ซึ่งก็คือ เตาสูญญากาศ