เตาสูญญากาศโดยทั่วไปประกอบด้วยเครื่องยนต์หลัก ห้องเตา อุปกรณ์ทำความร้อนไฟฟ้า เปลือกเตาปิดผนึก ระบบสูญญากาศ ระบบจ่ายไฟ ระบบควบคุมอุณหภูมิ และยานพาหนะขนส่งภายนอก เปลือกเตาปิดผนึกเชื่อมด้วยเหล็กกล้าคาร์บอนหรือสแตนเลส และพื้นผิวข้อต่อของชิ้นส่วนที่ถอดออกได้ปิดผนึกด้วยวัสดุปิดผนึกสูญญากาศ เพื่อป้องกันไม่ให้เปลือกเตาเสียรูปหลังจากให้ความร้อน และวัสดุปิดผนึกเสื่อมสภาพเมื่อได้รับความร้อน โดยทั่วไปเปลือกเตาจะถูกทำให้เย็นลงด้วยน้ำหรืออากาศ ห้องเตาตั้งอยู่ในเปลือกเตาปิดผนึก ห้องเตาติดตั้งองค์ประกอบความร้อนประเภทต่างๆ ขึ้นอยู่กับวัตถุประสงค์ของเตาเผา เช่น ตัวต้านทาน คอยล์เหนี่ยวนำ อิเล็กโทรด และปืนอิเล็กตรอน เตาสูญญากาศสำหรับการหลอมโลหะติดตั้งเบ้าหลอม และบางเครื่องติดตั้งอุปกรณ์เทและตัวควบคุมอัตโนมัติสำหรับการโหลดและการขนถ่าย ระบบสูญญากาศประกอบด้วยปั๊มสูญญากาศ วาล์วสูญญากาศ และมาตรวัดสูญญากาศเป็นหลัก